クリーンルーム用消耗品の主要な材料要件は、低粒子発生（繊維脱落なし）、低イオン/非揮発性残留物（NVR/TOC 規格を満たす）、帯電防止特性（主に 10⁶～10⁹ Ω の表面抵抗）、耐化学腐食性、無菌性 / 制御性です。
粒子の発生が少なく、抜け落ちない: 綿や普通の紙など、抜け落ちやすい素材-の使用は固く禁止されています。代わりに、連続フィラメントのポリエステル、マイクロファイバー、高密度フォーム、または特殊な合成樹脂を使用する必要があります。- 0.5 μm 以上の粒子の放出が確立された基準を確実に満たすようにするには、超音波またはレーザーによるエッジ シール プロセス-が必要です。
化学純度: 材料にはシリコン、蛍光剤、フタル酸エステルが含まれていない必要があります。製品や光学コーティングの汚染を防ぐために、不揮発性残留物 (NVR) と全有機炭素 (TOC) の抽出レベルは極めて低くなければなりません。
静電気制御: ほとんどの精密アプリケーションでは、静電気による塵の吸引やコンポーネントの故障を防ぐために、表面抵抗を 10⁶ ～ 10⁹ Ω の範囲 (散逸性) で安定に保つ必要があります。ただし、一部の特殊なシナリオ (チップのパッケージングなど) では、104 ～ 10¹¹ Ω の範囲が許容される場合があります。
耐薬品性および耐久性: 材料は、イソプロピル アルコール (IPA)、アセトン、酸性またはアルカリ性の消毒剤による繰り返しの拭き取りに、膨潤、ひび割れ、または性能の低下なしに耐える必要があります。物理的特性 (強度や抵抗など) は、複数回の洗浄または滅菌サイクル後に ±10% を超えて変動してはなりません。
