クリーンルーム-製造、バッチ-IEST-RP-CC004.3 に準拠したテスト済み
クラス 100 の製造工場では、ウェーハ キャリア上の 1 本の迷走ファイバがかなりのロットをスクラップに変える可能性があります。充填-仕上げスイートでは、ワイプの剥がれは、発生を待っている汚染イベントです。当社のポリエステル クリーンルーム ワイプは 100% 連続フィラメント ポリエステルで作られており、管理された環境内で最初から最後まで加工され、ワイプの清浄度、吸収性、粒子の挙動を評価するための業界標準である IEST-RP-CC004.3 - に対してバッチ{6}}テストされています。目標は、漠然とした「リントが少ない」という主張ではありません。-これはパフォーマンスが文書化され、再現可能であり、受信素材レコードの一部として QA チームにすぐに渡せるワイプです。-

研究室が実際に発見したもの
広範なマーケティング主張に頼るのではなく、代表的なバッチが IEST-RP-CC004.3 テストでどのように実行されたかを次に示します。
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財産 |
結果 |
要件 |
試験方法 |
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材料構成 |
ポリエステル100%(連続フィラメント) |
ポリエステル100% |
- |
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シートサイズ |
210mm×209mm |
210mm±5% |
IEST-RP-CC004.3 |
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坪量 |
95 g/m² |
95 g/m² ± 5% |
IEST-RP-CC004.3 |
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吸着率(湿るまでの時間) |
1秒 |
5秒以下 |
IEST-RP-CC004.3 |
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本質的な吸着性 |
2.22mL/g |
2 mL/g 以上 |
IEST-RP-CC004.3 |
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吸収性、外因性 |
211.5mL/m² |
200 mL/m²以上 |
IEST-RP-CC004.3 |
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粒子放出 (0.3 μm 以上) |
425 粒子/ft3 |
1,000 粒子/ft3 以下 |
IEST-RP-CC004.3 |
立ち止まってみる価値のある数字がいくつかあります。ワイプはほぼ瞬時に濡れます - 5- 秒の上限に対して 1 秒 -}。これは、オペレーターが外気に触れているツールで時間を決めて拭き取る手順を実行している場合に重要です。-粒子数は許容限度の半分を大幅に下回っており、製造から使用までの間にロールまたはパックが保管されるため、余裕が生じます。また、95 g/m² と、これは市販されている多くのポリエステル製ワイプよりも軽い構造ですが、外部吸収性の数値 (211.5 mL/m²) は、その重さの割に効率的に液体を吸収することを示しています。- 表面に飽和したままにするのではなく、すぐに乾くワイプが必要な場合に便利です。
使用される場所
半導体とマイクロエレクトロニクス
ロット間のウェーハ カセット、EFEM 内部、リソグラフィ ステージの拭き取りでは、立方フィートあたり数百(数千ではなく)単位の粒子数が歩留まりに直接影響します。{0}{1}{2}{2}}
01
製薬とバイオテクノロジー
IPA または承認済みの消毒剤を使用して、アイソレーター内部およびバッチ間の充填ライン コンポーネントの表面除染。{0}}
02
医療機器の組み立て
ISO クラス 7/8 領域での最終梱包前の治具、固定具、コンポーネントの拭き取り。大型の器具の場合、クリーンルーム ワイプ 9x9 は、より少ないパスでより多くの表面をカバーします。
03
精密光学機器と計測機器
溶剤を使用したレンズと基板の洗浄。粒子の発生が少ないため、微細な傷がつきにくくなります。{0}}
04
実験台と分析機器
機密性の高い測定の前に定期的にワイプダウンを行います。{0}
05
構造とエッジ仕上げ
生地自体にはコーティング、接着剤、または化学仕上げが施されていないため、ワイプが溶剤との繰り返しの接触に耐え、分解したり余分な繊維が発生したりすることはありません。エッジにはレーザー-シールまたは超音波-シールが施されています。レーザー シーリングは、ファイバーの端を可能な限り緊密なエッジに融合します。これは、エッジで生成される粒子が主な懸念事項である場合に役立ちます。-超音波シールにより、繰り返しの折り曲げや絞りに耐える、わずかに柔軟性と耐久性のあるエッジが生成されます。- 4 つに折り畳まれ、1 回の洗浄パス内で向かい合って使用されるワイプに適しています。
サイズ、重量、および梱包
テストされたシート (210 mm × 209 mm、95 g/m²) は、標準カタログ サイズ - 4"×4"、6" × 6"、および 9"×9" - にプロセスに合わせてカットされた寸法を加えたものと並んでいます。クリーンルーム ワイプ 9x9 は、一般的な工具や表面の拭き取りにデフォルトで選択される傾向があります。-1 回か 2 回のパスで治具をカバーできる十分な大きさであり、スポット クリーニングの場合は 4 つに折りたたむのも簡単です。{13}}すべてのパックは二重に袋詰めされ、ワイプが折りたたまれているのと同じクリーンルーム内で密封されるため、包装段階でワイプのテストで除外されたものが再導入されることはありません。-パックあたりのシート数よりもシートあたりの吸収能力が重要な用途では、坪量を上方(約 160 g/m² に向けて)調整することもできます。
よくある質問

示されているテストデータは、IEST-RP-CC004.3 に基づく代表的な製造バッチからの結果を反映しています。リクエストに応じて、バッチ-固有の分析証明書を入手できます。
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