ISO 14644-1 クリーンルーム クラスは何を意味しますか?

Jun 07, 2005

ご伝言

ISO 14644-1 クリーンルーム クラスでは、浮遊粒子の濃度を測定することによって空気がどの程度きれいであるかを説明します。 ISO クラス番号が小さいほど、空気中に許容される粒子は少なくなります。 ISO クラス 1 は最もクリーンな分類であり、ISO クラス 9 は最高の粒子濃度を許可します。

この考え方は単純に思えますが、クリーンルームの分類は、次のような用語を初めて目にすると混乱を招く可能性があります。ISO 5、ISO 7、ISO 8、クラス 100、または 0.5 μm仕様で。

重要なのは、その数値が実際に何を測定しているのかを理解することです。

ISO 14644-1:2015 では、指定された粒子サイズの浮遊粒子の濃度に基づいて空気清浄度を分類しています。この規格では、次のしきい値サイズを持つ粒子母集団が考慮されます。0.1μm~5μmまた、浮遊粒子カウンターを使用して、指定されたサイズ以上の粒子の濃度を測定します。粒子が生存可能であるか、生物学的粒子であるか、化学的粒子であるか、その他の粒子であるかによって粒子を分類するものではありません。

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ISO クリーンルーム クラスでは何を測定しますか?

ISO クリーンルーム クラスは本質的に、空気の粒子濃度限界.

ISO クラスごとに、この規格では、空気 1 立方メートル中に指定された粒子サイズで許容される粒子の最大数が定義されています。

たとえば、ISOクラス5クリーンルームでは最大限のことが可能です0.5 μm 以上で 1 立方メートルあたり 3,520 個の粒子.

アンISOクラス7クリーンルームでは次のことが可能です0.5 μm 以上で 1 立方メートルあたり 352,000 個の粒子.

アンISOクラス8クリーンルームでは次のことが可能です0.5 μm 以上で 1 立方メートルあたり 3,520,000 個の粒子.

その違いはかなり大きいです。 0.5 μm 以上のしきい値では、ISO 8 では ISO 5 で許容される粒子濃度の 1,000 倍が許容されます。

これにより、ISO 分類を読み取るための最も重要なルールが得られます。

ISO クラス番号が小さいほど、許容される浮遊粒子濃度は低くなります。

「0.5 μm 以上」とは何を意味しますか?

シンボル以上「以上」を意味します。

したがって、0.5μm以上これは、粒子カウンターが正確に 0.5 μm の粒子のみをカウントするのではなく、0.5 マイクロメートル以上の粒子をカウントしていることを意味します。

同じ原理が、0.1 μm 以上、0.2 μm 以上、0.3 μm 以上、1 μm 以上、5 μm 以上にも当てはまります。

たとえば、ISO クラス 5 の場合、0.5 μm 以上の制限は 1 立方メートルあたり 3,520 個の粒子ですが、1 μm 以上の制限は 1 立方メートルあたりわずか 832 個の粒子です。

測定はそのしきい値を超える累積粒子濃度に基づいているため、粒子サイズのしきい値が大きくなるにつれて、許容される数は小さくなります。{0}}

ISO 14644-1 クリーンルームクラス表

次の図は、ISO 14644-1 分類に使用される最大粒子濃度を示しています。値は空気 1 立方メートルあたりの粒子数として表されます。

ISOクラス

0.1μm以上

0.2μm以上

0.3μm以上

0.5μm以上

1μm以上

5μm以上

ISO1

10

2

-

-

-

-

ISO2

100

24

10

4

-

-

ISO3

1,000

237

102

35

8

-

ISO4

10,000

2,370

1,020

352

83

-

ISO5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO7

-

-

-

352,000

83,200

2,930

ISO8

-

-

-

3,520,000

832,000

29,300

ISO9

-

-

-

35,200,000

8,320,000

293,000

すべての粒子サイズのしきい値がすべての ISO クラスに使用されるわけではありません。-適用可能な粒子サイズは、ISO 14644-1で定義されたクラスおよび分類表によって異なります。

どの ISO クラスがよりクリーンですか?

数値が小さいほど、常に粒子濃度の制限が厳しくなります。

この関係は次のように簡単に示すことができます。

ISO5→ISO6→ISO7→ISO8

から移動するにつれてISO5からISO8へ、許容される浮遊粒子濃度が増加します。

例えば:

ISOクラス

最大粒子数 0.5 µm/m3 以上

ISO5

3,520

ISO6

35,200

ISO7

352,000

ISO8

3,520,000

このため、部屋が「ISO 8」であると言っても、それが「ISO 5」の部屋よりもきれいであることを意味するわけではありません。逆も真です。ISO 5 には、より厳しい浮遊粒子制限があります。

ISO 5、ISO 7、ISO 8の違いは何ですか?

これら 3 つのクラスは、クリーンルーム仕様でよく使用されます。

ISOクラス5

ISO 5 では最大で次のことが許可されます。1立方メートルあたり0.5μm以上の粒子3,520個.

ISO 7 や ISO 8 よりもはるかに厳密に制御された浮遊粒子環境を表します。

古い用語クラス100通常、このレベルに関連付けられます。

ISOクラス7

ISO 7 では最大で次のことが許可されます。352,000 個の粒子 1 立方メートルあたり 0.5 μm 以上.

ISO 5 よりも制限が緩やかですが、ISO 8 よりも大幅にクリーンです。

前者クラス10,000用語は一般的に ISO 7 に関連付けられています。

ISOクラス8

ISO 8 では最大で次のことが許可されます。3,520,000 個の粒子 1 立方メートルあたり 0.5 μm 以上.

ISO 5、6、または 7 よりも大幅に高い粒子濃度が許可されるため、空気清浄度のレベルはそれほど厳しくありません。

クラス 100 は ISO 5 と同じですか?

クラス 100 は、一般に ISO クラス 5 に関連付けられている古い連邦規格 209E の用語です。

古い連邦規格 209E では、クラス 100、クラス 1,000、クラス 10,000、クラス 100,000 などの用語が使用されていました。 ISO 14644-1 では、その分類アプローチが立方メートル単位の浮遊粒子濃度に基づく国際システムに置き換えられました。

一般的に使用される比較は次のとおりです。

旧FS209E

ISO 14644-1

クラス1

ISO3

クラス10

ISO4

クラス100

ISO5

クラス1,000

ISO6

クラス10,000

ISO7

クラス100,000

ISO8

現在のクリーンルーム仕様が ISO 5 として記述されている場合でも、サプライヤーが依然として製品または設備を「クラス 100」と記述しているのはこのためです。現在の技術文書については、ISO 14644-1 分類古い用語だけに頼るのではなく、明らかに。

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ISO 14644-1 では何が分からないのでしょうか?

ISO クラスは、浮遊粒子濃度を記述します。それはありますないクリーンルーム内のあらゆる状態を完全に説明します。

ISO 14644-1 には次のことは記載されていません。

  • 浮遊粒子が生存可能な微生物であるかどうか
  • プロセスが無菌かどうか

部屋に必要な正確な空気交換率-

温度または湿度の要件

完全な HVAC 設計

装置や製品の表面の清浄度

完全な汚染管理手順-

これらは、他の要件、標準、またはプロセス仕様によって管理される個別の考慮事項です。

この区別は重要です。ISO 番号をクリーンルームのパフォーマンスの完全な定義として扱うべきではありません.

たとえば、ISO 14644-1 は、浮遊粒子の物理的、化学的、放射線学的、生存可能またはその他の性質を特徴付けるために使用できないと明確に述べています。

ISO 番号が重要な理由

ISO クラスは、空気の清浄度を表す一般的な方法を提供します。

この分類では、ある部屋が「非常に清潔」で別の部屋が「あまり清潔ではない」と単純に言うのではなく、測定可能な粒子濃度の限界を示します。

そのため、ISO クラスは、クリーンルーム要件の比較、テスト結果のレビュー、管理された環境の設計、メーカーと購入者間の仕様の伝達に役立ちます。

システムを覚える最も便利な方法は簡単です。

ISO 1 は最も明確な分類です。 ISO 9 は最も厳格ではありません。数値が低いほど、許容される浮遊粒子が少なくなります。

見るとISO 5、ISO 7、または ISO 8, クラス番号だけを見ないでください。こちらもご覧ください測定する粒子径、許容濃度、試験条件.

これら 3 つの詳細が明確になると、ISO 14644-1 分類がはるかに理解しやすくなります。

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